标准名称：集成电路晶圆制造单位产品能源消耗限额

标准编号：DB31/ 506-2020

替代情况：替代 DB31/ 506-2010

资源类别：上海市地方标准

实施日期：2020 年 12 月 1 日

标准格式：PDF电子版

标准大小：2.46 MB

DB31/ 506-2020标准简介：

本文件规定了集成电路晶圆制造过程的单位产品能源消耗（以下简称能耗)限额的技术要求、统计范围、计算方法、节能管理与措施。

本文件适用于集成电路晶圆制造企业单位产品能耗的计算与考核，以及对新建及改扩建项目的能耗控制。

本文件不适用于12英寸40 nm及以下工艺制程的集成电路制造企业。

本标准代替DB31/ 506-2010《集成电路晶圆制造能耗限额》。