标准名称：电热和电磁处理装置基本技术条件 第417部分：碳化硅单晶生长装置

标准编号：GB/T 10067.417-2023

资源类别：国家标准

实施日期：2023 年 12 月 1 日

附件大小：12.8 MB

GB/T 10067.417-2023标准简介：

本文件规定了碳化硅单晶生长装置的产品分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存以及订购与供货。

本文件适用于在真空或保护气氛下，采用间接电阻加热生长碳化硅单晶的电热装置。采用高频感应加热的生长碳化硅单晶的装置参照使用。本文件适用于物理气相输运法碳化硅单晶生长装置，其他方法的碳化硅单晶生长装置参照使用。