标准名称：GB/T 14146-2021 硅外延层载流子浓度的测试 电容-电压法

标准编号：GB/T 14146-2021

资源类别：国家标准

实施日期：2021 年 12 月 1 日

标准格式：PDF电子版

标准大小：6.18 MB

GB/T 14146-2021规范简介：

国家标准 GB/T 14146-2021 《硅外延层载流子浓度的测试 电容-电压法》规定了电容-电压法测试硅外延层载流子浓度的方法，包括汞探针电容-电压法和无接触电容-电压法。本标准自 2021 年 12 月 1 日起施行，代替GB/T 14146-2009《硅外延层载流子浓度测定 汞探针电容-电压法》。

本文件适用于同质硅外延层载流子浓度的测试，测试范围为4×1013 cm-3～8×1016 cm-3，其中硅外延层的厚度大于测试偏压下耗尽层深度的两倍。硅单晶抛光片和同质碳化硅外延片载流子浓度的测试也可以参照本文件进行，其中无接触电容?电压法不适用于同质碳化硅外延片载流子浓度的测试。