标准名称：半导体材料术语

标准编号：GB/T 14264-2024

替代情况：替代 GB/T 14264-2009

资源类别：国家标准

实施日期：2024 年 11 月 1 日

GB/T 14264-2024标准简介：

本文件界定了半导体材料的一般术语和定义，材料制备与工艺及缺陷的术语和定义，以及缩略语。

本文件适用于半导体材料的研发、生产、制备及相关领域。

本标准代替 GB/T 14264-2009《半导体材料术语》。