标准名称：硅中代位碳含量的红外吸收测试方法

标准编号：GB/T 1558-2023

替代情况：替代 GB/T 1558-2009

资源类别：国家标准

实施日期：2024 年 7 月 1 日

附件大小：1.79 MB

GB/T 1558-2023标准简介：

本文件描述了硅中代位碳原子含量的红外吸收测试方法。

本文件适用于电阻率大于 3 Ω·cm 的 p 型硅单晶片及电阻率大于 1 Ω·cm 的 n 型硅单晶片中代位碳原子含量的测试 ( 室温下测试范围：5×10¹⁵ cm⁻³ 至硅中碳原子的最大固溶度；温度低于 80 K 时测试范围：不小于 5×10¹⁴ cm⁻³  )。

本标准代替 GB/T 1558-2009《硅中代位碳原子含量 红外吸收测量方法》。