标准名称：电子工业用气体 硅烷

标准编号：GB/T 15909-2017

替代情况：替代 GB/T 15909-2009

标准类别：国家标准

实施日期：2017 年 12 月 1 日

附件大小：723 KB

GB/T 15909-2017标准简介：

本标准规定了硅烷气体的技术要求、试验方法、标志、包装、贮运及安全的内容。

本标准代替 GB/T 15909-2009《电子工业用气体 硅烷(SiH4)》。