标准名称： 电子特气 三氟化氮

标准编号：GB/T 21287-2021

替代情况：替代 GB/T 21287-2007

资源类别：国家标准

实施日期：2022 年 5 月 1 日

标准格式：PDF电子版

标准大小：808 KB

GB/T 21287-2021电子特气三氟化氮简介：

本文件规定了电子级三氟化氮的技术要求、检验规则、试验方法、标志、包装、运输贮存及安全信息的要求。

本文件适用于以无水氟化氢与液氨为原料制备提纯，或以氟化氢铵为原料制备提纯得到的三氟化氮。

本文件代替原国家标准 GB/T 21287-2007《电子工业用气体三氟化氮》。