标准名称：硅单晶中III、V族杂质含量的测定 低温傅立叶变换红外光谱法

标准编号：GB/T 24581-2022

替代情况：替代 GB/T 24581-2009

标准类别：国家标准

实施日期：2022 年 10 月 1 日

标准格式：PDF电子版

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GB/T 24581-2022标准简介

本标准描述了用低温傅立叶变换红外光谱法测定硅单晶中III、V族杂质含量的方法。

本标准适用于硅单晶中的III、V族杂质铝（Al）、锑（Sb）、砷（As）、硼（B）、镓（Ga)、铟（In）和 磷（P）含量的测定，各元素的测定范围（以原子数计）为1.0×1010 cm-3～4.1×1014 cm-3。

本标准代替 GB/T 24581-2009《低温傅立叶变换红外光谱法测量硅单晶中III、V族杂质含量的测试方法》。