标准名称：洁净室及相关受控环境 第13部分：达到粒子和化学洁净度要求的表面清洁

标准编号：GB/T 25915.13-2022

资源类别：国家标准

实施日期：2023 年 7 月 1 日

附件大小：747 KB

GB/T 25915.13-2022标准简介：

本文件提供了洁净室表面、设备表面和材料表面达到所需洁净度的清洁指导。

本文件中的表面涉及所有表面(外表面、内表面)。

本文件提供评估达到表面洁净度的粒子浓度(SCP)和表面化学洁净度的化学物浓度(SCC)洁净度的所需清洁方法，以及达到规定洁净度宜考虑的清洁技术。

ISO 14644.9和ISO 14644.10给出了清洁技术的适宜率和相关检测方法。