标准名称：洁净室及相关受控环境 第 14 部分：按粒子浓度评估设备适用性

标准编号：GB/T 25915.14-2022

资源类别：国家标准

实施日期：2023 年 7 月 1 日

附件大小：466 KB

GB/T 25915.14-2022标准简介：

本文件适用于评估在洁净室及相关受控环境中使用的机械、测试设备、工艺设备、部件及工具等设备的适用性。根据 GB/T 25915.1，关注悬浮粒子粒径范围为0.1 μm至大于或等于5 μm。