标准名称：洁净室及相关受控环境 第2部分：洁净室空气粒子浓度的监测

标准编号：GB/T 25915.2-2021

替代情况：替代 GB/T 25915.2-2010

资源类别：国家标准

实施日期：2022 年 3 月 1 日

附件大小：435 KB

GB/T 25915.2-2021标准简介：

本文件规定了监测计划的基本要求。这个监测计划依据所测量的空气中悬浮粒子浓度或对其有影响的其他参数，监测洁净室或洁净区按粒子浓度划分的空气洁净度方面的性能。

本文件适用于粒径 0.1 um～5um 粒子浓度的监测。

本标准代替 GB/T 25915.2-2010《洁净室及相关受控环境　第2部分：证明持续符合 GB/T 25915.1 的检测与监测技术条件》。