标准名称：洁净室及相关受控环境 第9部分：按粒子浓度划分表面洁净度等级

标准编号：GB/T 25915.9-2018

资源类别：国家标准

实施日期：2018 年 10 月 1 日

附件大小：575 KB

GB/T 25915.9-2018标准简介：

GB/T 25915的本部分阐明了在洁净室及相关受控环境中，按粒子浓度来划分固体表面洁净度等级。附录A～附录D中给出了关于表面特性的信息以及推荐的检测和测量方法。

本部分适用于洁净室及相关受控环境中的所有固体表面，如墙壁、顶棚、地板、生产环境、工具、设备和产品。按粒子浓度划分的表面洁净度等级（SCP）限于粒径0.05 μm～500 μm的粒子。