标准名称：硅单晶退火片

标准编号：GB/T 26069-2022

替代情况：替代 GB/T 26069-2010

标准类别：国家标准

实施日期：2022 年 10 月 1 日

标准格式：PDF电子版

标准大小：487 KB

GB/T 26069-2022硅单晶退火片标准简介

本标准规定了硅单晶退火片的分类、技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、运输、贮存、随行文件及订货单内容。

本标准适用于通过退火工艺在硅单晶抛光片表面形成一定宽度洁净区的硅片，产品用于技术代180nm～22nm的集成电路。

本标准代替 GB/T 26069-2010《硅退火片规范》。