标准名称：微机电系统（MEMS）技术 术语

标准编号：GB/T 26111-2023

替代情况：替代 GB/T 26111-2010

资源类别：国家标准

实施日期：2023 年 9 月 1 日

附件大小：7.48 MB

GB/T 26111-2023标准简介：

本文件界定了微机电系统器件及其生产工艺相关的术语和定义。本文件适用于微机电系统领域的研究、开发、评测和应用。

本文件代替GB/T 26111-2010《微机电系统（MEMS）技术 术语》。