标准名称：用区熔拉晶法和光谱分析法评价多晶硅棒的规程

标准编号：GB/T 29057-2023

替代情况：替代 GB/T 29057-2012

资源类别：国家标准

实施日期：2024 年 3 月 1 日

附件大小：3.40 MB

GB/T 29057-2023标准简介：

本文件规定了多晶硅棒取样、将样品区熔拉制成单晶以及通过低温红外光谱法或光致发光光谱法对拉制好的单晶硅棒进行分析以确定多晶硅中施主、受主、代位碳和间隙氧杂质含量等的规程。本文件适用于评价硅芯上沉积生长的棒状多晶硅。

本规程代替 GB/T 29057-2012《用区熔拉晶法和光谱分析法评价多晶硅棒的规程》。