标准名称：硅外延用三氯氢硅

标准编号：GB/T 30652-2014

资源类别：国家标准

实施日期：2015 年 9 月 1 日

标准格式：PDF电子版

标准大小：251 KB

GB/T 30652-2014硅外延用三氯氢硅规范简介：

本标准规定了硅外延用三氯氢硅(SiHCl3)的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存、质量证明书以及订货单 (或合同)内容。

本标准适用于以粗三氯氢硅为原料经过提纯而制得的硅外延用三氯氢硅。