标准名称：硅外延用三氯氢硅

标准编号：GB/T 30652-2023

替代情况：替代 GB/T 30652-2014

资源类别：国家标准

实施日期：2024 年 3 月 1 日

附件大小：1.94 MB

GB/T 30652-2023标准简介：

本文件规定了硅外延用三氯氢硅（ SiHCl₃ ）的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、随行文件及订货单内容。

本文件适用于以三氯氢硅为原料精制提纯而制得的硅外延用三氯氢硅。

本标准代替 GB/T 30652-2014《硅外延用三氯氢硅》。