标准名称：碳化硅单晶抛光片

标准编号：GB/T 30656-2023

替代情况：代替 GB/T 30656-2014

标准类别：国家标准

实施日期：2023 年 10 月 1 日

附件大小：585 KB

GB/T 30656-2023标准简介：

本文件规定了 4H 及 6H 碳化硅单晶抛光片的牌号及分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、随行文件和订货单内容。

本文件适用于生产电力电子器件、射频微波器件及 LED 发光器件的外延材料用碳化硅单晶抛光片。

本标准代替 GB/T 30656-2014《碳化硅单晶抛光片》。