标准名称：硅片翘曲度和弯曲度的测试 自动非接触扫描法

标准编号：GB/T 32280-2022

替代情况：替代 GB/T 32280-2015

标准类别：国家标准

实施日期：2022 年 10 月 1 日

标准格式：PDF电子版

标准大小：948 KB

GB/T 32280-2022标准简介

本标准描述了利用两个探头在硅片表面自动非接触扫描测试硅片的翘曲度和弯曲度的方法。

本标准适用于直径不小于 50mm，厚度不小于 100μm 的洁净、干燥的硅片，包括切割、研磨、腐蚀、抛光、外延、刻蚀或其他表面状态的硅片，也可用于砷化镓、碳化硅、蓝宝石等其他半导体晶片翘曲度和弯曲度的测试。

本文件代替 GB/T 32280-2015《硅片翘曲度测试 自动非接触扫描法》。