标准名称：产品几何技术规范（GPS） 表面结构 区域法 第603部分：非接触（相移干涉显微）式仪器的标称特性

标准编号：GB/T 33523.603-2022

标准类别：国家标准

实施日期：2023 年 4 月 1 日

附件大小：8.92 MB

GB/T 33523.603-2022标准简介：

本文件规定了相移干涉法（ PSI  ）轮廓和区域表面结构测量显微镜的计量特性。