标准名称：产品几何技术规范（GPS） 表面结构 区域法 第604部分：非接触（相干扫描干涉）式仪器的标称特性

标准编号：GB/T 33523.604-2022

标准类别：国家标准

实施日期：2023 年 4 月 1 日

附件大小：12.2 MB

GB/T 33523.604-2022标准简介：

本文件规定了用于表面高度三维映射的相干扫描干涉(CSI)测量系统的计量特性。