标准名称：半导体制造用气体处理指南

标准编号：GB/T 34971-2017

标准类别：国家标准

实施日期：2018 年 5 月 1 日

附件大小：4.04 MB

GB/T 34971-2017标准简介：

本标准规定了半导体制造用气体排放系统的原理及技术。

本标准适用于半导体制造用气体的处理。