标准名称：纳米技术 原子力显微术测定纳米薄膜厚度的方法

标准编号：GB/T 36969-2018

资源类别：国家标准

实施日期：2018 年 12 月 28 日

文件格式：PDF电子版

文件大小：3.54 MB

GB/T 36969-2018标准简介：

本标准规定了使用原子力显微术（AFM)测量纳米薄膜厚度的原理、测试条件、设备、样品、测试步骤和数据处理。

本标准适用于表面均匀、平整的纳米范围厚度的无机材料薄膜。较厚的和一些有机薄膜的膜厚测定也可参照执行。