标准名称：GB/T 38976-2020 硅材料中氧含量的测试 惰性气体熔融红外法

标准编号：GB/T 38976-2020

资源类别：国家标准

实施日期：2021 年 6 月 1 日

标准格式：PDF电子版

标准大小：0.43 MB

GB/T 38976-2020 硅材料中氧含量的测试 惰性气体熔融红外法简介：

《GB/T 38976-2020 硅材料中氧含量的测试 惰性气体熔融红外法》本标准规定了采用惰性气体熔融及红外技术测试硅材料中氧含量的方法。 该标准适用于不同导电类型、不同电阻率范围的硅单晶、多晶硅中氧含量的测试，测试范围为2.5×1015 cm-3（0.05 ppma）～2.5×1018 cm-3（50 ppma）。