标准名称：GB/T 39516-2020 微纳米标准样板（几何量）

标准编号：GB/T 39516-2020

资源类别：国家标准

实施日期：2021 年 6 月 1 日

标准格式：PDF电子版

标准大小：1.31 MB

GB/T 39516-2020 微纳米标准样板（几何量）简介：

国家标准《GB/T 39516-2020 微纳米标准样板（几何量）》规定了微纳米标准样板（几何量）的术语和定义、型式与基本参数、要求、检查条件、检查方法、标志、运输及储存等。

本标准适用于线间隔为0.05 μm~10 μm的微纳米线间隔标准样板、台阶高度为0.01 μm~100 μm的微纳米台阶高度标准样板、薄膜厚度为2 nm~1 000 nm的纳米膜厚标准样板和线宽为25 nm~1 000 nm的纳米线宽标准样板。