标准名称：集成电路制造设备术语

标准编号：GB/T 40577-2021

资源类别：国家标准

实施日期：2022 年 5 月 1 日

标准格式：PDF电子版

标准大小：3.37 MB

GB/T 40577-2021 集成电路制造设备术语简介：

本文件规定了集成电路（IC)制造设备的基本和常用术语，包括基础术语，晶体生长加工设备、掩模制造设备、光刻与刻蚀设备、掺杂设备、薄膜淀积设备、清洗设备、封装设备、检测设备的术语及公用部件术语。

本文件适用于集成电路制造设备的设计开发、生产和应用，也适用于集成电路制造设备的科研、教学和出版工作。