标准名称：碳化硅单晶中硼、铝、氮杂质含量的测定 二次离子质谱法

标准编号：GB/T 41153-2021

资源类别：国家标准

实施日期：2022 年 7 月 1 日

标准格式：PDF电子版

标准大小：477 KB

GB/T 41153-2021标准简介：

本文件规定了碳化硅单晶中硼、铝、氮杂质含量的二次离子质谱测试方法。

本文件适用于碳化硅单晶中硼、铝、氮杂质含量的定量分析，测定范围为硼含量不小于5×1013 cm-3、铝含量不小于5×1013 cm-3、氮含量不小于5×1015 cm-3，元素浓度（原子个数百分比）不大于1%。