标准名称：刻蚀机用硅电极及硅环

标准编号：GB/T 41652-2022

标准类别：国家标准

实施日期：2023 年 2 月 1 日

标准格式：PDF电子版

标准大小：1.96 MB

GB/T 41652-2022标准简介

本文件规定了刻蚀机用硅电极及硅环的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存和随行文件以及订货单内容。

本文件适用于p<100>直拉硅单晶加工成的刻蚀机用直径200 mm～450 mm的硅电极及硅环。