标准名称：氮化镓单晶衬底片晶面曲率半径测试方法

标准编号：GB/T 41751-2022

资源类别：国家标准

实施日期：2023 年 2 月 1 日

标准格式：PDF电子版

标准大小：1.96 MB

GB/T 41751-2022标准简介：

本文件规定了利用高分辨X射线衍射仪测试氮化镓单晶衬底片晶面曲率半径的方法。

本文件适用于化学气相沉积及其他方法制备的氮化镓单晶衬底片晶面曲率半径的测试，氮化镓外延片晶面曲率半径的测试可参照本文件进行。