标准名称：碳化硅单晶位错密度的测试方法

标准编号：GB/T 41765-2022

标准类别：国家标准

实施日期：2023 年 5 月 1 日

附件大小：4.41 MB

GB/T 41765-2022标准简介

本文件规定了碳化硅单晶位错密度的测试方法。

本文件适用于晶面偏离{0001}面，偏向<1120> 方向 0°～8° 的碳化硅单晶位错密度的测试