标准名称：纳米技术 三维纳米结构与器件的加工方法 离子束辐照诱导应变法

标准编号：GB/T 42106-2022

资源类别：国家标准

实施日期：2023 年 7 月 1 日

附件大小：2.77 MB

GB/T 42106-2022标准简介：

本文件描述了离子束辐照诱导应变技术构建三维纳米结构与器件的加工方法，主要包括加工原理、　材料与设备、环境条件、加工方法。

本文件适用于离子束辐照诱导直立纳米线和平面纳米薄膜的空间应变，进而实现三维空间中由一维纳米线和二维纳米薄膜构成的三维纳米结构与器件。