标准名称：微机电系统（MEMS）技术 微沟槽和棱锥式针结构的描述和测量方法

标准编号：GB/T 42158-2023

资源类别：国家标准

实施日期：2023 年 7 月 1 日

附件大小：3.05 MB

GB/T 42158-2023标准简介：

本文件描述了微米尺度沟槽结构和棱锥式针结构，并给出两种结构几何形状的测量示例。本文件中沟槽结构的深度为 1 μm～100 μm、沟槽宽和沟槽间隔宽均为 5 μm～150 μm、深宽比为 0.006 7～20。棱锥式针结构具有三个或四个面，其高度、横向宽度和纵向宽度为 2 μm 或更大，并且外轮廓尺寸可包含于边长为 100 μm 的立方体内。

本文件适用于 MEMS 结构设计和 MEMS 结构加工后的几何形状评估。

本文件等同采用 IEC62047-26:2016《 半导体器件 微机电器件 第26 部分: 微沟槽和针结构的描述和测量方法》。