标准名称：硅单晶中氮含量的测定 二次离子质谱法

标准编号：GB/T 42263-2022

标准类别：国家标准

实施日期：2023 年 4 月 1 日

标准格式：PDF电子版

标准大小：1.19 MB

GB/T 42263-2022标准简介

本文件描述了硅单晶中氮含量的二次离子质谱测试方法。

本文件适用于硼锦、砷磷的掺杂浓度小于1X10（20）cm^-3 (0.2%) 的硅单晶中氮含量的测定，测定范围不小于1X10（14）cm^-3。

注： 硅单晶中氮含量以每立方厘米中的原子数计。