标准名称：半绝缘碳化硅单晶的电阻率非接触测试方法

标准编号：GB/T 42271-2022

资源类别：国家标准

实施日期：2023 年 4 月 1 日

标准格式：PDF电子版

标准大小：1.11 MB

GB/T 42271-2022标准简介：

本文件描述了半绝缘碳化硅单晶的电阻率非接触测试方法。

本文件适用于测量电阻率范围为 1×10 5 Ω·cm～1×1012Ω·cm的半绝缘碳化硅单晶片。