标准名称：光学功能薄膜 微结构厚度测试方法

标准编号：GB/T 42674-2023

资源类别：国家标准

实施日期：2024 年 3 月 1 日

附件大小：345 KB

GB/T 42674-2023标准简介：

本文件描述了通过扫描电子显微镜 ( SEM ) 检测光学功能薄膜横截面微结构厚度的方法。

本文件适用于厚度不小于 50 nm 的光学功能薄膜的单层或多层结构的厚度测试。