标准名称：半导体单晶晶体质量的测试 X射线衍射法

标准编号：GB/T 42676-2023

资源类别：国家标准

实施日期：2024 年 3 月 1 日

附件大小：1.37 MB

GB/T 42676-2023标准简介：

本文件描述了利用X射线衍射仪测试半导体材料双晶摇摆曲线半高宽，进而评价半导体单晶晶体质量的方法。

本文件适用于碳化硅、金刚石、氧化镓等单晶材料晶体质量的测试，硅、砷化镓、磷化铟等半导体材料晶体质量的测试也可参照本文件执行。