标准名称：半导体器件 微电子机械器件 第5部分：射频MEMS开关

标准编号：GB/T 42709.5-2023

资源类别：国家标准

实施日期：2023 年 9 月 1 日

附件大小：1.29 MB

GB/T 42709.5-2023标准简介：

本文件界定了用于评估和确定射频MEMS开关的基本额定值和特性的术语、定义和符号，描述了参数测试方法。

本文件适用于各种类型的射频 MEMS 开关，射频 MEMS 开关的一般说明见附录 A 。按接触方式分类，包括直流触点型开关和电容触点型开关；按结构分类，包括串联开关和并联开关，射频 MEMS 开关的几何结构说明见附录 B；按开关网络分类，包括单刀单掷开关、单刀双掷开关和双刀双掷开关等；按驱动方式分类，包括静电驱动开关、热电驱动开关、电磁驱动开关和压电驱动开关等。射频 MEMS 开关在多频带或多模式移动电话、智能雷达系统、可重构射频器件和系统、SDR（软件无线电）电话、测试设备、可调谐器件和系统、卫星等方面应用广泛，射频 MEMS 开关的应用说明见附录 E。