标准名称：电子特气 一氧化氮

标准编号：GB/T 42721-2023

资源类别：国家标准

实施日期：2024 年 3 月 1 日

附件大小：6.76 MB

GB/T 42721-2023标准简介：

本文件规定了一氧化氮的技术要求、采样、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及安全信息的要求。

本文件适用于集成电路等电子工业制造中使用的电子用一氧化氮。