GB/T 42789-2023 硅片表面光泽度的测试方法

GB/T 42789-2023
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标准名称:硅片表面光泽度的测试方法

标准编号:GB/T 42789-2023

资源类别:国家标准

实施日期:2024 年 3 月 1 日

附件大小:1.18 MB

GB/T 42789-2023标准简介:

本文件描述了采用光反射法以20°、60°或85°几何条件测试硅片表面光泽度的方法。

本文件适用于硅腐蚀片、抛光片、外延片表面光泽度的测试,不适用于表面有图形的硅片的测试。

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