GB/T 42789-2023 硅片表面光泽度的测试方法
GB/T 42789-2023
标准推荐性现行标准名称:硅片表面光泽度的测试方法
标准编号:GB/T 42789-2023
资源类别:国家标准
实施日期:2024 年 3 月 1 日
附件大小:1.18 MB
GB/T 42789-2023标准简介:
本文件描述了采用光反射法以20°、60°或85°几何条件测试硅片表面光泽度的方法。
本文件适用于硅腐蚀片、抛光片、外延片表面光泽度的测试,不适用于表面有图形的硅片的测试。
标准名称:硅片表面光泽度的测试方法
标准编号:GB/T 42789-2023
资源类别:国家标准
实施日期:2024 年 3 月 1 日
附件大小:1.18 MB
本文件描述了采用光反射法以20°、60°或85°几何条件测试硅片表面光泽度的方法。
本文件适用于硅腐蚀片、抛光片、外延片表面光泽度的测试,不适用于表面有图形的硅片的测试。