标准名称：微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS微结构弯曲强度试验方法

标准编号：GB/T 42895-2023

资源类别：国家标准

实施日期：2023 年 12 月 1 日

附件大小：739 KB

GB/T 42895-2023标准简介：

本文件描述了硅基MEMS加工所涉及的微结构弯曲强度原位试验的要求和试验方法。

本文件适用于采用微电子工艺制造的微结构弯曲强度测试。