标准名称：微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS纳尺度结构冲击试验方法

标准编号：GB/T 42896-2023

资源类别：国家标准

实施日期：2023 年 12 月 1 日

附件大小：517 KB

GB/T 42896-2023标准简介：

本文件描述了硅基 MEMS 制造技术中所涉及的纳尺度膜结构沿厚度方向冲击试验的要求和试验方法。

本文件适用于采用微电子工艺制造的纳尺度结构在一次冲击负荷作用下的耐冲击性能的测试。