标准名称：微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS纳米厚度膜抗拉强度试验方法

标准编号：GB/T 42897-2023

资源类别：国家标准

实施日期：2023 年 12 月 1 日

附件大小：763 KB

GB/T 42897-2023标准简介：

本文件描述了硅基MEMS加工过程中所涉及的纳米厚度膜轴向抗拉强度原位试验的要求和试验方法。

本文件适用于采用微电子工艺制造的纳米厚度膜抗拉强度测试。