标准名称：碳化硅外延片表面缺陷的测试 激光散射法

标准编号：GB/T 42902-2023

资源类别：国家标准

实施日期：2024 年 3 月 1 日

附件大小：2.38 MB

GB/T 42902-2023标准简介：

本文件描述了激光散射法测试碳化硅外延片表面缺陷的方法。

本文件适用于 4H-SiC 外延片的表面缺陷测试。