标准名称：半导体器件 功率器件用碳化硅同质外延片缺陷的无损检测识别判据 第2部分：缺陷的光学检测方法

标准编号：GB/T 43493.2-2023

资源类别：国家标准

实施日期：2024 年 7 月 1 日

附件大小：3.34 MB

GB/T 43493.2-2023标准简介：

本文件提供了在商用碳化硅（ SiC ）同质外延片产品上缺陷光学检测的定义和方法。主要是通过给出这些缺陷的光学图像示例，为 SiC 同质外延片上缺陷的光学检测提供检测和分类的依据。

本文件主要论述缺陷的无损表征方法，因此有损表征例如湿法腐蚀等不包含在本文件范围内。