标准名称：碳化硅晶体材料缺陷图谱

标准编号：GB/T 43612-2023

资源类别：国家标准

实施日期：2024 年 7 月 1 日

附件大小：28.3 MB

GB/T 43612-2023标准简介：

本文件规定了导电型 4H 碳化硅 ( 4H-SiC ) 晶体材料缺陷的形貌特征,产生原因和缺陷图谱。

本文件适用于半导体行业碳化硅 ( 晶锭、衬底片、外延片及后续工艺 ) 的研发、生产及检测分析等环节。