标准名称：表面化学分析 扫描探针显微术 用于二维掺杂物成像等用途的电扫描探针显微镜（ ESPM，如 SSRM 和 SCM ）空间分辨的定义和校准

标准编号：GB/T 43661-2024

标准类别：国家标准

实施日期：2024 年 10 月 1 日

GB/T 43661-2024标准简介

本文件描述了用于测量扫描电容显微镜（ scanning capacitance microscope，SCM ）或扫描扩展电阻显微镜（ scanning spreading resistance microscope，SSRM ）空间（横向）分辨的方法，该方法涉及使用锐边的器件。这2种显微镜广泛应用于半导体器件的载流子分布成像和其他电学特性的测量。