标准名称：微束分析 透射电子显微术 集成电路芯片中功能薄膜层厚度的测定方法

标准编号：GB/T 43748-2024

标准类别：国家标准

实施日期：2024 年 10 月 1 日

GB/T 43748-2024标准简介

本文件规定了用透射电子显微镜/扫描透射电子显微镜 ( TEM/STEM ) 测定集成电路芯片中功能薄膜层厚度的方法。

本文件适用于测定几个纳米以上厚度的集成电路芯片中功能薄膜层。