标准名称：纳米几何量标准样板测试方法

标准编号：GB/T 43915-2024

资源类别：国家标准

实施日期：2024 年 11 月 1 日

GB/T 43915-2024标准简介：

本文件规定了纳米几何量标准样板测试方法的分类及原理、测试设备、测试环境、测试程序及测试数据处理。

本文件适用于线间隔为 50 nm~100 nm 的纳米线间隔标准样板、线宽为 20 nm~100 nm 的纳米线宽标准样板、台阶高度为 10 nm~100 nm 的纳米台阶高度标准样板和薄膜厚度为 2 nm~100 nm 的纳米膜厚标准样板的测试。