标准名称：电子级正硅酸乙酯

标准编号：GB/T 43965-2024

资源类别：国家标准

实施日期：2024 年 11 月 1 日

GB/T 43965-2024标准简介：

本文件规定了半导体行业用电子级正硅酸乙酯的技术要求、检验规则、型式试验、标志、包装、运输及贮存的要求,描述了试验方法、分析方法与测定结果评价。

本文件适用于沉积二氧化硅的电子级正硅酸乙酯。