标准名称：半导体器件 机械和气候试验方法 第27部分：静电放电（ESD）敏感度测试 机器模型（MM）

标准编号：GB/T 4937.27-2023

资源类别：国家标准

实施日期：2023 年 12 月 1 日

附件大小：2.39 MB

GB/T 4937.27-2023标准简介：

本文件依据半导体器件对规定的机器模型( MM ) 静电放电( ESD ) 所造成损伤或退化的敏感度，建立了半导体器件 ESD 测试和分级的标准程序。

本文件相对于人体模型 ESD，用作一种可选的测试方法，目的是提供可靠、可重复的ESD测试结果，以此进行准确分级。

本文件适用于半导体器件，属于破坏性试验。半导体器件的 ESD 测试从本文件、人体模型( HBM 见 GB/T 4937.26 ) 或 GB/T 4937 系列中的其他测试方法中选择。MM 与 HBM 测试的结果相似但不完全相同。除另有规定外，HBM 测试方法为所选方法。